書籍

栗原光技術士事務所株式会社　 代表取締役／ （元）日立金属株式会社　 栗原　光一郎　氏 

【主旨】
　筆者自身の、新規セラミック積層部品のプロセス開発～量産化の経験に基づいた内容です。なるべく回り道をせず製品化・量産化のためのセラミックグリーンシート成形技術の基礎を学べます。さらに、プロセス開発における特許出願事例についても説明します。

【プログラム】
1. シート成形前工程
　1.1　素原料紛混合
　　1.1.1 素原料紛の選定
　　1.1.2 ボールミル湿式混合
　1.2 素原料スラリーの乾燥
　1.3 仮焼
　1.4 ボールミル湿式粉砕
　1.5 分散
　　1.5.1 設備・条件
　　1.5.2 バインダー選定
　　1.5.3 可塑剤選定
　1.6 脱泡（粘度調整）

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2. シート成形工程
　2.1 バインダー量・可塑剤量適正化
　2.2 シート密度・空隙率
　2.3 スラリーの管理
　2.4 シート成形機
　　2.4.1 ダム構造
　　2.4.2 スラリー液面制御
　　2.4.3 スラリー性状
　　2.4.4 乾燥ゾーン
　　2.4.5 キャリアフィルム

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3. シート成形後工程
　3.1 ビアホール形成
　3.2 内部配線印刷
　　3.2.1 導電ペーストの選定
　　3.2.2 耐シートアタック性
　　3.2.3 印刷スクリーンの仕様選定・管理
　　3.2.4 スキージの選定・管理
　3.3 積層・圧着
　　3.3.1 積層位置合わせ手段
　　3.3.2 圧着条件
　3.4 切断
　3.5 焼成
　　3.5.1 温度プロファイル
　3.6 端子電極形成

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4. 周辺技術
　4.1 クリーン環境
　　4.1.1 クリーン度
　　4.1.2 温度・湿度
　4.2 解析・評価技術
　　4.2.1 表面分析
　　　4.2.1.1  SEM/EDX
　　　4.2.1.2  EPMA
　　4.2.2 マイクロフォーカスX線透視装置
　　4.2.3 超音波探傷/超音波イメージング装置

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5. 特許出願の推進
　5.1 利用関係
　5.2 「製造方法」の出願例
　5.3 「もの」の出願例
　5.4 「製造設備」の出願例

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6. まとめ （備考　主な設備メーカ、サプライヤー）