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【テレワーク対応・WEBセミナー】塗布膜乾燥プロセスの解明・考察・本質の理解と塗布膜の設計・欠陥対策への応用

≪諸事情によりお時間が変更になりました。14:00-18:00。予めご了承ください≫
≪こちらはWEBセミナーのお申し込みURLになります≫
★塗布膜乾燥の物理、数理モデル、膜厚制御、欠陥対策を知るために最適な講座!
★塗布膜の乾燥工程の機構を解明するにあたり必要となる物理学的知識、考え方の講義から始めて、それらを基にした上記工程のモデル化の実際、およびその数値シミュレーションの実際を概説し、塗布膜乾燥機構の本質を理解する、わかりやすい講義!
★様々な塗布膜不具合の原因、膜乾燥における様々な欠陥、問題の克服と、膜厚分布の制御の方法について考察する!

セミナー番号 S200502
セミナー名 塗布膜乾燥
講師名

徳山大学 福祉情報学部 教授 博士(工学) 鏡 裕行 氏

開催日 2020年05月26日(火) 14:00-18:00
会場名

※会社やご自宅のパソコンで視聴可能な講座です

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支払い方法 銀行振込
受講料(税込)

【1名の場合 価格】39,600円(税込、資料費用を含む)
2名以上は一人につき、11,000円が加算されます。

詳細
定員:30名

※ お申込み時に送られるWEBセミナー利用規約・マニュアルを必ず、ご確認ください。
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※ お申し込み後、受講票と請求書が自動で返信されます。請求書記載の銀行口座に沿って、お振り込みをお願いします。また請求書に記載の「株式会社」や「(株)」「会社名」はお客様の記入通りの表記になりますので、ご希望の形式で記載をお願いします。
※ 2名以上でお申し込みをされた場合は、請求書受講票を代表者様にご連絡します。
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※ 当講座では、同一部署、申込者のご紹介があれば、何名でもお1人につき11,000円で追加申し込みいただけます。(申込者は正規料金、お二人目以降は11,000円となります)。
※ WEB受講は名簿をご提出いただきます。追加の際は、申し込まれる方が追加の方を取り纏めいただくか、申込時期が異なる場合は紹介者のお名前を備考欄にお書きくださいますよう、お願いいたします。

上記以外は正規料金となりますのでご理解ください。

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講師プロフィール

徳山大学 福祉情報学部 教授 博士(工学) 鏡 裕行 氏

東京大学理学部天文学科卒業、京都大学大学院理学研究科博士後期課程研究指導認定の上退学、博士(工学)。
塗布膜乾燥機構、非線形・非平衡系の物理学を専門とする。

講演主旨

 塗布膜の乾燥機構の解明は、様々な工学等の分野で求められている重要な課題である。塗布膜の乾燥においては、例えば乾燥後の膜厚分布が均一になることが求められるが、多くの場合、膜厚分布が均一にならず、また乾燥条件によって膜厚分布が変化することが経験的に知られていた。均一な乾燥後の膜厚分布を得るためには、塗布膜の乾燥過程の機構を解明することがまず必要で、その解明を経て、必要な制御を系に施すことにより、均一な乾燥後の膜厚分布を得るという目標へ近づくことになる。均質な膜分布を得る場合も同様である。また、乾燥後の様々な欠陥を克服する際にも、同様のプロセスが必要となる。
本講演では、塗布膜の乾燥工程の機構を解明するにあたり必要となる物理学的知識、考え方の講義から始めて、それらを基にした上記工程のモデル化の実際、およびその数値シミュレーションの実際を概説し、塗布膜乾燥機構の本質を理解する。また、これに基づいて様々な塗布膜不具合の原因を物理学的に考察する。そして、膜乾燥における様々な欠陥、問題の克服と、膜厚分布の制御の方法について考察する。この講演が、今後参加者が実際に扱う系の乾燥過程の理解および乾燥後の欠陥対策のヒントとなることを目指す。

プログラム

1.塗布膜の乾燥工程の概要と課題
 1.1 乾燥させるとは?
  1.1.1 乾燥が進行する原理
  1.1.2 乾燥を進行させる方法
 1.2 レジスト塗布工程の例
  1.2.1 塗布方法
  1.2.2 乾燥方法
 1.3 乾燥後に求められるもの
2.液体の理論
 2.1 液体の一般理論
  2.1.1 液体中の分子に働く力
  2.1.2 液体を固体から乱れた状態としてとらえる
  2.1.3 液体を気体論的に考える
 2.2 液体論からみた蒸発の理論
 2.3 液体の凝集力の起源
 2.4 液体の理論のモデルへの導入のポイント
3.溶液の理論
 3.1 溶液の一般論
  3.1.1 溶液とは
  3.1.2 平衡状態の溶液の化学ポテンシャル
  3.1.3 非平衡状態の溶液の化学ポテンシャル
 3.2 高分子溶液の特徴
 3.3 溶液の理論のモデルへの導入のポイント
4.表面・界面の理論
 4.1 表面張力
 4.2 界面のぬれ
 4.3 界面のゆらぎ
 4.4 表面張力波と緩和時間
 4.5 表面・界面の理論のモデルへの導入のポイント
5.溶媒の蒸発速度の理論
 5.1 蒸発速度の式
6.溶液中の溶質・溶媒の動力学
 6.1 拡散方程式
 6,2 流体方程式
 6.3 揮発中という非平衡状態での動力学
  6.3.1 化学ポテンシャルからの拡散係数の導出(平衡系)
  6.3,2 化学ポテンシャルからの拡散係数の導出(非平衡系)
7.平坦な基板上に塗布された高分子溶液の揮発過程
 7.1 レイリー数とマランゴニ数
 7.2 最もシンプルなモデル化
 7.3 シンプルなモデルの改良
 7.4 精密なモデル
 7.5 数値シミュレーション結果の例
  7.5.1 膜厚分布の時間発展
  7.5.2 乾燥後の膜厚分布の乾燥速度依存性
  7.5.3 乾燥後の膜厚分布の塗布膜厚依存性
  7.5.4 乾燥後の膜厚分布の濃度の拡散係数依存性
  7.5.5 乾燥後の膜厚分布の溶媒の拡散係数依存性
  7.5.6 乾燥後の膜厚分布の固有粘性率依存性
  7.5.7 乾燥後の膜厚分布の蒸発潜熱依存性
  7.5.8 乾燥後の膜厚分布に対する高分子溶液特有の蒸気圧変化の効果
  7.5.9 液膜の表層と内部の乾燥の時間発展の違い
8.シミュレーション技術
 8.1 拡散方程式の解法
 8.2 流体方程式の解法
9.実験によるモデルの検証
10.モデルの発展
 10.1 3次元モデル
 10.2 溶質の種類が複数ある場合
 10.3 溶媒の種類が複数ある場合
 10.4 具体的な現象へのモデルの応用(様々なムラ等)
 10.5 マランゴニ効果の考慮
11.膜厚制御の実際、今後
 11.1 様々なムラ等の制御の例
 11.2 端部の凹凸の制御の例1:温度管理
 11.3 端部の凹凸の制御の例2:気圧管理
 11.4 端部の凹凸の制御の例3:濃度管理
12.様々な形状への応用
 12.1 基板の側面への塗布の影響
 12.2 球状体への塗布膜の場合
13.塗布膜の設計における留意点
  【質疑応答 名刺交換】

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