AndTech

セミナー詳細

セミナー

【テレワーク対応・WEBセミナー】EUVリソグラフィの最新動向・レジスト材料開発と評価・プロセス技術

≪こちらはWEB講座のお申し込みURLになります≫

★EUVリソグラフィの最新動向・レジスト材料開発と評価・プロセス技術の最新動向!

セミナー番号 S200703
セミナー名 EUVリソグラフィ
講師名

第1部 兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所 所長 EUVリソグラフィー研究開発センター長 教授 渡邊 健夫 氏

 

第2部 リソテックジャパン株式会社 ナノサイエンスグループ長(兼務)大阪府立大学 大学院 工学研究科 電子・数物系専攻 電子物理工学分野 プロセス物理研究グループ 客員教授 博士(工学) 関口 淳 氏

 

開催日 2020年07月20日(月) 13:00-16:15
会場名

※会社やご自宅のパソコンで視聴可能な講座です

アクセスマップ

支払い方法 銀行振込  
受講料(税込)

【1名の場合】44,000円(税込、テキスト費用を含む)
2名以上は一人につき、11,000円が加算されます。
※2名以上ご要望の場合は2名を選択し、備考欄にその旨お書きくださいませ。

詳細

定員:30名


※ お申込み時に送られるWEBセミナー利用規約を必ず、ご確認ください。
※ 銀行振り込みをご選択ください。お支払いは会社のご都合で講座前日に間に合わない場合、開催月翌月末あたりまでお待ち申し上げます。
※ お申し込み後、受講票と請求書が自動で返信されます。請求書記載の銀行口座に沿って、お振り込みをお願いします。また請求書に記載の「株式会社」や「(株)」「会社名」はお客様の記入通りの表記になりますので、ご希望の形式で記載をお願いします。
※ 2名以上でお申し込みをされた場合は、請求書受講票を代表者様にご連絡します。
※ 領収書の要望があれば、申込時、備考欄へ記載ください。
※ ご参加手続きの際、自宅住所やフリーアドレス、個人携帯番号のみで登録された場合は、ご所属確認をさせていただくことがございます
※ 当講座では、同一部署、申込者のご紹介があれば、何名でもお1人につき11,000円で追加申し込みいただけます。(申込者は正規料金、お二人目以降は11,000円となります)。
WEB受講は名簿をご提出いただきます。追加の際は、申し込まれる方が追加の方を取り纏めいただくか、申込時期が異なる場合は紹介者のお名前を備考欄にお書きくださいますよう、お願いいたします。

上記以外は正規料金となりますのでご理解ください。


キャンセルポリシー・特定商取引法はこちら
セミナーに関するQ&Aはこちら(※キャンセル規定は必ずご確認ください)

プログラム

第1講 EUVリソグラフィ・レジスト材料の最新動向
【13:00-14:30】

 

講師:兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所 所長 EUVリソグラフィー研究開発センター長 教授 渡邊 健夫 氏

 

【経歴】
1992年よりEUVリソグラフィー技術開発に従事
フォトポリマー国際会議理事、フォトマスクジャパン国際会議組織委員会委員長
EIPBN国際会議プログラム委員等

【講演キーワード】
EUVレジスト、化学増幅系レジスト、非化学増幅系レジスト、LWR、今後の展開

 

【講演主旨】
 EUVリソグラフィー技術は2019年より最先端の半導体量産技術として適用されました。しかしながら、5nm世代以降では未だ多くの技術課題を抱えています。特に、EUVレジスト開発は最も重要な技術課題を抱えています。当セミナーでは、基礎的な内容に立ち返ってEUVレジスト材料プロセス開発の現状と今後の展望を紹介致します。皆様の今後の技術開発にお役に立てれば幸いです。

 

【講演プログラム】
1.半導体微細加工の技術動向
 1-1 EUVリソグラフィーの必要性
 1-2 EUVリソグラフィーとは?
2.半導体レジスト材料・プロセス技術
 2-1 半導体レジスト材料・プロセス技術の変遷
 2-2 EUVレジストの技術課題
3.EUVレジストの技術課題解決に向けて
 3-1 低LWR用レジスト開発に向けた取り組み
 3-2 新規評価系の開発について
4.EUVリソグラフィー技術の今後の展開
5. まとめ

【質疑応答】


第2講 EUVレジスト材料開発と評価・プロセス技術
【14:45-16:15】

 

講師: リソテックジャパン株式会社 ナノサイエンスグループ長(兼務)大阪府立大学 大学院 工学研究科 電子・数物系専攻 電子物理工学分野 プロセス物理研究グループ 客員教授 博士(工学) 関口 淳 氏

 

【講演プログラム】
1.EUVLの概要
 1-1 EUVLの概要
 1-2 EUVL用レジスト
2.アウトガス評価技術
 2-1 EUVレジストのアウトガス評価方法
 2-2 EUVレジストのアウトガス評価装置
3.EUVレジストの評価技術
 3-1 EUV透過率測定
 3-2 ナノパーティクル添加レジストの高感度化
4.EUVメタルレジストの評価技術
 4-1 EUVメタルレジストの概要
 4-2 EUVメタルレジストのアウトガス分析
 4-3 EUVメタルレジストの問題点
5.EUVレジストと電子線レジストの感度

【質疑応答】


アクセスマップ

セミナー検索条件

セミナー形態
分野
カテゴリー
開催年
開催月
検索結果に戻る カテゴリ一覧を見る

Connect & Gather