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セミナー詳細

セミナー

【オンライン学習講座】塗布膜乾燥プロセスとトラブル対策 入門講座

★オンライン(WEB)を使った新感覚のWEB講座+通信教育サービス!毎月1回、全3回の講座コースでこの料金で受講可能です。
本講演では、塗布膜乾燥プロセスとトラブル対策についてじっくりと解説いただきます。
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セミナー番号 ow210732
セミナー名 塗布膜乾燥
講師名
徳山大学 福祉情報学部 教授 博士(工学) 鏡 裕行 氏
開催日 2021年09月22日(水) 13:30-16:30
会場名

会社会議室、ご自宅にあるパソコンで受講可能

アクセスマップ

支払い方法 銀行振込
受講料(税込)
・1口(1-2名まで受講可能)55,000円(消費税・資料代込)   
  お申込み人数は”1”を選択

・1口(3名まで受講可能) 82,500円 (消費税・資料代込) 
 お申込み人数は”複数”を選択

※同一法人4名以上は1人あたり27,500円(消費税・資料代込)で金額追加で受講可

 

詳細
※オンライン学習で使用する資料(PDF電子データ)として事前に受講者へご連絡いたします。お手数をおかけしますが、プリントアウトしていただき、ご準備ください。
※原則、紙媒体でのテキスト提供は対応しておりません。
※同一法人で15名以上の参加をお考えの企業様はWEB研修サービス(有料・カスタマイズ研修)も行っております紙媒体による資料(テキスト)をお求めの場合は1冊(1回分、カラー、1頁4スライド構成)につき、5,500円(税込)を別途徴収いたします。お申込み時、備考欄にその旨をご記入ください。
※講座資料の電子データ提供の都合により、著作権保護の観点から研修参加者の名簿提出が必須となります。予め、ご了承ください。

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講座に関するQ&Aはこちら(※キャンセル規定は必ずご確認ください)

講師プロフィール

徳山大学 福祉情報学部 教授 博士(工学) 鏡 裕行 氏

東京大学理学部天文学科卒業、京都大学大学院理学研究科博士後期課程研究指導認定の上退学、博士(工学)。
塗布膜乾燥機構、非線形・非平衡系の物理学を専門とする。

講演主旨

【予定】 
第1回 07月08日(木) 13:30-16:30
第2回 08月03日(火) 13:30-16:30
第3回 09月22日(水) 13:30-16:30

プログラム

【第1回】塗布膜の乾燥工程における課題と液体・溶液の理論
(日時:07月08日(木) 13:30-16:30 、学習時間:3時間)

【講演主旨】
塗布膜の乾燥機構の解明は、様々な工学等の分野で求められている重要な課題である。塗布膜の乾燥においては、例えば乾燥後の膜厚分布が均一になることが求められるが、多くの場合、膜厚分布が均一にならず、また乾燥条件によって膜厚分布が変化することが経験的に知られていた。均一な乾燥後の膜厚分布を得るためには、塗布膜の乾燥過程の機構を解明することがまず必要で、その解明を経て、必要な制御を系に施すことにより、均一な乾燥後の膜厚分布を得るという目標へ近づくことになる。均質な膜分布を得る場合も同様である。また、乾燥後の様々な欠陥を克服する際にも、同様のプロセスが必要となる。
第1回では、塗布膜の乾燥工程の概要と課題を概説した後、本課題を考察するにあたって必要となる液体・溶液の理論を解説する。

【プログラム】
1.塗布膜の乾燥工程の概要と課題
 1.1 乾燥させるとは?
  1.1.1 乾燥が進行する原理
  1.1.2 乾燥を進行させる方法
 1.2 レジスト塗布工程の例
  1.2.1 塗布方法
  1.2.2 乾燥方法
 1.3 乾燥後に求められるもの
2.液体の理論
 2.1 液体の一般理論
  2.1.1 液体中の分子に働く力
  2.1.2 液体を固体から乱れた状態としてとらえる
  2.1.3 液体を気体論的に考える
 2.2 液体論からみた蒸発の理論
 2.3 液体の凝集力の起源
 2.4 液体の理論のモデルへの導入のポイント
3.溶液の理論
 3.1 溶液の一般論
  3.1.1 溶液とは
  3.1.2 平衡状態の溶液の化学ポテンシャル
  3.1.3 非平衡状態の溶液の化学ポテンシャル
 3.2 高分子溶液の特徴
 3.3 溶液の理論のモデルへの導入のポイント
4.演習

【演習回答・内容への質疑応答】

【第2回】表面・界面、蒸発速度、溶質・溶媒の動力学の理論と液膜内の分散・凝集挙動と制御
(日時:08月03日(火) 13:30-16:30、学習時間:3時間)

【講演主旨】
第2回では、塗布膜乾燥プロセスにおいてポイントとなる表面・界面の理論、溶媒の蒸発速度の理論、溶液中の溶質・溶媒の動力学、塗布・乾燥に伴う膜中微粒子の分散・凝集挙動と制御について順に解説する。塗布膜乾燥プロセスのような流れのほとんどない流体において本質的なのは拡散であるが、その拡散が生じる機構について詳しく解説する。また、所望の膜質を得るための乾燥が進行するには、乾燥完了まで溶液(分散系)は凝集せず分散性が保たれなければならない。この問題についても解説する

【プログラム】
1.表面・界面の理論
 1.1 表面張力 
 1.2 界面のぬれ
 1.3 界面のゆらぎ
 1.4 表面張力波と緩和時間 
 1.5 表面・界面の理論のモデルへの導入のポイント
2.溶媒の蒸発速度の理論
 2.1 蒸発速度の式
3.溶液中の溶質・溶媒の動力学
 3.1 拡散方程式
 3.2 流体方程式
 3.3 揮発中という非平衡状態での動力学
  3.3.1 化学ポテンシャルからの拡散係数の導出(平衡系)
  3.3.2 化学ポテンシャルからの拡散係数の導出(非平衡系)
4.塗布・乾燥に伴う膜中微粒子の分散・凝集挙動と制御
 4.1 膜中微粒子の分散・凝集挙動の扱い
 4.2 微粒子分散系の安定性
 4.3 微粒子分散系のモデル
 4.4 微粒子分散系の粒子の沈降・浮上との関係
 4.5 微粒子分散系の凝集速度
 4.6 微粒子分散系の凝集挙動の制御
  4.6.1 微粒子分散系の凝集挙動の制御の考え方
  4.6.2 静電的な反発による凝集挙動の制御
  4.6.3 立体障害効果による凝集挙動の制御
 4.7 塗布中の膜中微粒子の分散・凝集挙動
 4.8 乾燥中の膜中微粒子の分散・凝集挙動
 4.9 モデルにおける膜中微粒子の分散・凝集挙動
5.演習

【演習回答・内容への質疑応答】


【第3回】塗布膜乾燥プロセスの数理モデルの構築とその数値シミュレーション
 (日時:09月22日(水) 13:30-16:30 、学習時間:3時間)

【講演主旨】
 第3回では、これまで学んだ知識に基づき、平坦な基板上に塗布された高分子(微粒子分散)溶液の乾燥過程の数理モデル化を行う。また、モデルの数値シミュレーション結果に基づき、塗布膜乾燥機構の本質を理解する。また、モデルの様々な改良等による考察に基づき、乾燥後の膜の様々な欠陥の原因を明らかにし、所望の膜質を得るための方法について考察する。また、今後の乾燥後の膜厚・膜質の制御方法の展望についても考察する。

【プログラム】
1.平坦な基板上に塗布された高分子溶液の揮発過程
 1.1 レイリー数とマランゴニ数
 1.2 最もシンプルなモデル化
 1.3 シンプルなモデルの改良
 1.4 精密なモデル
 1.5 数値シミュレーション結果の例
  1.5.1 膜厚分布の時間発展
  1.5.2 乾燥後の膜厚分布の乾燥速度依存性
  1.5.3 乾燥後の膜厚分布の塗布膜厚依存性
  1.5.4 乾燥後の膜厚分布の濃度の拡散係数依存性
  1.5.5 乾燥後の膜厚分布の溶媒の拡散係数依存性
  1.5.6 乾燥後の膜厚分布の固有粘性率依存性
  1.5.7 乾燥後の膜厚分布の蒸発潜熱依存性
  1.5.8 乾燥後の膜厚分布に対する高分子溶液特有の蒸気圧変化の効果
  1.5.9 液膜の表層と内部の乾燥の時間発展の違い
2.シミュレーション技術
 2.1 拡散方程式の解法
 2.2 流体方程式の解法
3.実験によるモデルの検証
4.モデルの発展
 4.1 3次元モデル
 4.2 溶質の種類が複数ある場合
 4.3 溶媒の種類が複数ある場合
 4.4 具体的な現象へのモデルの応用(様々なムラ等)
 4.5 マランゴニ効果の考慮
5.膜厚制御の実際、今後
 5.1 様々なムラ等の制御の例 
 5.2 端部の凹凸の制御の例1:温度管理
 5.3 端部の凹凸の制御の例2:気圧管理
 5.4 端部の凹凸の制御の例3:濃度管理
6.様々な形状への応用
 6.1 基板の側面への塗布の影響
 6.2 球状体への塗布膜の場合
7.塗布膜の設計における留意点
8.演習
【演習回答・内容への質疑応答】

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