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★2026年11月27日WEBでオンライン開講第一人者の国立大学法人東海国立大学機構 岐阜大学 畝田氏が、【CMPにおける超精密研磨プロセスのメカニズムと3大副資材(パッド・コンディショナ・スラリー)の作用機構 ~プレストン則から可視化技術・AEセンシングまで~】について解説する講座です。
■注目ポイント
★CMPの研究に長年従事し、パッド、コンディショナ、スラリーの3大副資材に関する研究を継続して行ってきた講師が、3大副資材の作用機構を個別に解説するだけでなく、相互作用を含めたCMPプロセス全体のメカニズムについて可視化技術やAEセンシングによる計測事例を交えながら体系的に解説!
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