セミナー詳細ページ

----------------------------------------------------------------------------------------------------------
第1講：13:00-15:00（芝浦機械株式会社：小久保 氏）
　「ナノインプリント装置の設計と光学材料への適用例」

第2講：15:10-16:25（産総研：穂苅 氏）
　「 ナノインプリントを用いた光学部材の研究開発」

第3講：16:35-17:35（日本板硝子株式会社：壹岐 氏）
　「ゾルゲルガラスとガラスナノインプリントによる加工技術」
----------------------------------------------------------------------------------------------------------

　低コスト微細構造形成技術である、ナノインプリント成形技術の概要について紹介するとともに超精密加工機による金型加工にも触れます。

　ナノインプリント装置に関しては直押し方式の微細転写装置に加え、大面積化・高スループット化へのアプローチとして注目されている「Roll to Roll方式」の装置開発状況について説明し、デバイスへの適用例として、LEDの高輝度化、ウエハレベルレンズ、大面積 (G2 (370×470mm) ) サイズのWGP (ワイヤーグリッド偏光子) について解説します。

【講演のポイント】

　LEDの高輝度化、ウエハレベルレンズの製作、大面積 (G2 (370×470mm) ) サイズのWire Grid Polarizer (ワイヤーグリッド偏光子)といった実際のデバイスに適用した発表事例を紹介します。

【習得できる知識】

　①ナノインプリント手法・デバイス作成における問題点・注意点・判断基準
　②ナノインプリント装置の設計と評価

【講演のキーワード】

　ナノインプリント、LED、深紫外LED、ウエハレベルレンズ、WLL、ワイヤーグリッド偏光子、Wire Grid Polarizer、大面積インプリント。Roll to Roll、Roll to Sheet、Roll to Plate

　ナノインプリントは、微細な凹凸構造を材料表面に転写することで新たな機能を創出する加工技術です。本発表では、ナノインプリント技術を基盤として進めてきた光学部材の研究開発について紹介します。偏光素子や調光ブラインドを例に、ナノ構造による光制御の原理から、社会実装を見据えたプロセス技術などについて解説します。

【講演のポイント】

　ナノインプリントを基盤に、光を操るナノ構造の原理から、偏光素子・調光ブラインドへの応用、社会実装を見据えた加工技術を紹介します。

【習得できる知識】

　①ナノインプリント技術の基礎原理と特徴
　②ナノ構造が光の性質（偏光・透過）を制御する仕組み
　③偏光素子や調光ブラインドへの応用例

【講演のキーワード】

　ナノインプリント、ナノ構造、微細加工、光学、偏光、調光

　本発表では、ガラスの高耐久性と樹脂並みの微細加工性を両立するナノインプリント光学素子の技術的優位性と応用展開について紹介する。ゾルゲルプロセスを活用した微細構造形成により、様々な光学機能の付与が可能となり、次世代半導体パッケージ(Co-Packaged Opticsや光電融合型パッケージ)分野など高精度・高耐久性が求められる分野での応用が期待される。

　また、日本板硝子では、低誘電率・低CTE特性を有するガラスフィラーや、TGV（Through Glass Via）対応のガラス基板の技術開発/事業化にも取り組んでおり、光・電気複合パッケージに向けた材料として多様なソリューションを提供可能である。