ナノインプリントにおける樹脂設計と離型性・欠陥制御の向上、光学部材への展望
~高屈折率硬化性樹脂の開発、インプリント材料の装置評価、AR/VR/回折格子への応用展開~
★2024年3月28日WEBオンライン開講。【①大阪公立大学・平井氏】【②リソテックジャパン株式会社・関口氏】【③三菱ガス化学株式会社・田中氏】【④産総研・栗原氏】 第一線で活躍する専門家4名の講師がナノインプリントの材料の特性と評価、今後の展望について解説する講座です。
■本講座の注目ポイント
★ナノインプリントの材料特性に着目し、基礎的知識の伝授から課題への要求事項まで解説!
★ナノインプリント技術を用いた光学部材への実例についても紹介します!
- 第1部 大阪府立大学 名誉教授/大阪公立大学 特選研究員/応用物理学会 ナノインプリント技術研究会 顧問/3次元ヘテロインテグレーション研究会 (3DHI) 理事 平井 義彦 氏
- 第2部 リソテックジャパン株式会社/大阪公立大学 ナノサイエンス研究所 所長 博士(工学)/大学院工学研究科 客員教授 関口 淳 氏
- 第3部 三菱ガス化学株式会社 東京研究所・主任研究員 田中 博康 氏
- 第4部 産業技術総合研究所 研究主幹 栗原 一真 氏
【1名の場合】55,000円(税込、テキスト費用を含む)
2名以上からは1名につき、11,000円となります。
定員:30名
※ お申し込み後、受講票と請求書のURLが自動で返信されます。郵送ではないため必ずダウンロードください。また、同時に送られるWEBセミナー利用規約・マニュアルを必ずご確認ください。
※ 請求書の宛名の「株式会社」や「(株)」の「会社名の表記」は、お客様の入力通りになりますので、ご希望の表記で入力をお願いします。
※ お支払いは銀行振込、クレジット決済も可能です。銀行振込でお支払いの場合、開催月の翌月末までにお支払いください。お支払いの際は、社名の前に請求書番号をご入力ください。
※ 領収書のご要望があれば、お申込み時、領収書要にチェックを入れてください。
※ 2名以上でお申し込みをされた場合は、受講票と請求書を代表者様にご連絡します。※ 当講座では、同一部署の申込者様からのご紹介があれば、何名でもお1人につき11,000円で追加申し込みいただけます (申込者様は正規料金、お2人目以降は11,000円となります)。追加の際は、申し込まれる方が追加の方を取りまとめいただくか、申込時期が異なる場合は紹介者様のお名前を備考欄にお書きくださいますようお願いいたします。
※ なお、ご参加手続きの際、自宅住所やフリーアドレス、個人携帯番号のみで登録された場合は、ご所属確認をさせいただくことがございます。
【本セミナーの主題および状況・本講座の注目ポイント】
≪こちらの講座は、WEB上での開催のオンライン講座になります≫
■本セミナーの主題および状況
ナノインプリントの世界市場規模は2022年時点で1億ドル以上と推測されており、2030年までに更に2倍以上の規模にまで成長を続けると予測されています。
現在のナノインプリントの用途として最も普及しているのが光学系の分野で、最も期待されている用途が半導体の回路パターン形成です。ただし求められる精度や品質のハードルが高く、樹脂への塗布技術、金型との離型技術、微細な異物除去のクリーニング技術やナノレベルの補正技術など、さまざまな課題を抱えています。
当講座では今後も発展を続けるナノインプリント技術の需要に対して、主材料となる樹脂の特性や装置を用いた評価、将来への展望として光学デバイスへの適用や研究例について解説します。
■本講座の注目ポイント
①ナノインプリントの基礎と今後の展望(UV硬化樹脂と離型性、光学デバイスへの適用)
②装置を用いたインプリント材料の評価
③高屈折率硬化性樹脂の開発動向とナノインプリントを用いた光学部材の開発研究
(企画担当:川本)
【第1講】 ナノインプリントの基礎と、AR/VR デバイスへの応用
【時間】 10:30-12:00
【講師】大阪府立大学 名誉教授/大阪公立大学 特選研究員/応用物理学会 ナノインプリント技術研究会 顧問/3次元ヘテロインテグレーション研究会 (3DHI) 理事 平井 義彦 氏
【講演主旨】
光ナノインプリントと離型プロセスに関するメカニズムの基礎をしっかり理解します。そのうえで、先端半導体、メタバースなどへの応用展開やディープラーニングによるプロセス・材料設計などの最新の動向についても紹介します。
【習得できる知識】
・UVナノインプリント、離型プロセスのメカニズムに関わる物理化学
・ナノインプリントの応用に関わる光学応用技術
【講演キーワード】
ナノインプリント、離型、半導体応用、光導波路、回折格子
【講演のポイント】
ナノインプリントの基礎についてシミュレーションと実験を比較しながら、成型と離型のメカニズムを理解します。
また最近の応用例として、AR/VR用グラスに用いられる傾斜型回折格子の離型や、半導体応用の動向について触れます。
【プログラム】
1.光ナノインプリントの基礎
1.1 光ナノインプリントの原理・特徴と長短所
1.2 樹脂の流動と充填
1.3 UV照射とパターンサイズ
1.4 UV硬化の基礎と材料特性
2.AR/VRグラスの原理と高屈折材料の開発動向
2.1 AR/VR用光導波路の構造
2.2 ナノインプリントによる作製技術
3.離型のメカニズムとARグラス用傾斜型回折格子の離型
3.1 離型の基本メカニズム
(1)破壊力学によるシミュレーション
(2)離型のメカニズムとレジストの密着力、摩擦力
(3)モールド側壁傾斜角と離型性
(4) 離型欠陥の低減方法
3.2 傾斜回折格子の離型方法と欠陥予測
(1)垂直離型
(2)ピール離型
(3)回転離型
(4)ロール離型
4.ナノインプリントのメタバース、半導体応用と最新動向
4.1 光デバイス、メタバースへの応用
4.2 半導体への応用
4.3 バイオ、その他への応用
【質疑応答】
【第2講】 ナノインプリント装置と評価
【時間】 13:00-14:15
【講師】リソテックジャパン株式会社/大阪公立大学 ナノサイエンス研究所 所長 博士(工学)/大学院工学研究科 客員教授 関口 淳 氏
【講演主旨】
ナノインプリント・リソグラフィの概要、インプリント用レジスト材料、および評価技術について解説します。
【プログラム】
1.ナノインプリントリソグラフィー(NIL)技術の概要
1.1 プロセス評価用ナノインプリント装置
1.2 実験用熱・光対応ナノインプリント装置
1.3 実験用熱インプリント装置
1.4 実験用ロールTOロールナノインプリント装置
1.5 実験用 卓上インプリント装置
1.6 ナノインプリント用アライメント装置
2.ナノインプリント法によるモスアイ構造製作のための評価装置の開発
【質疑応答】
【第3講】 光学系硬化用樹脂の開発動向と、ナノインプリント材料への応用
【時間】 14:30-15:45
【講師】三菱ガス化学株式会社 東京研究所・主任研究員 田中 博康 氏
【講演主旨】
光学デバイスの小型高機能化やメタバースの進展により光学系硬化用樹脂への期待が高まりを見せ、とりわけ、ナノインプリント技術の展開が期待されている。
本講座では、高屈折率硬化性樹脂『LumipluS』のナノインプリントプロセスへの適用例をもとに、インプリント材料に求められる材料特性、離形・欠陥制御などのナノインプリントプロセスにおける要求事項を解説する。また、回折素子、XRデバイスなどの事例をもとに、今後のインプリントプロセスの展望についても解説する。
【習得できる知識】
・光学デバイスに使用される樹脂材料について
・硬化性材料の光学デバイスへの適用について
・ナノインプリントに用いられているポリマーとそれに対する要求特性について
・ナノインプリントプロセスにおける要求事項について
・ナノインプリントプロセスの応用が期待されるデバイス作製について
【講演キーワード】
UV硬化、高屈折率、回折素子、XR向け素材、メタレンズ
【講演のポイント】
光学樹脂材料の市場から求められるナノインプリント技術について、高屈折率硬化性樹脂『LumipluS』の事例を通して解説します。
また今後ナノインプリントの応用が期待される光学デバイスについて解説します。
【プログラム】
1.光学デバイスへの樹脂材料の展開
1.1 光学デバイスに使用される樹脂材料
1.2 三菱ガス化学の光学材料開発
1.3 光学デバイスへの硬化性樹脂の展開
2.ナノインプリントプロセス
2.1 ナノインプリントプロセスの特徴
2.2 ナノインプリント技術の展開
2.3 インプリント成形に求められる材料特性
2.4 微細構造賦形のための転写技術
3.光学デバイスにおけるナノインプリント技術の将来展望
3.1 回折素子への応用
3.2 XR向けインプリント材料
3.3 メタレンズへの応用
【質疑応答】
【第4講】 ナノインプリントを用いた光学部材の開発研究【仮】
【時間】 16:00-17:15
【講師】産業技術総合研究所 研究主幹 栗原 一真 氏
【講演主旨】
※現在、講師の先生に最新のご講演プログラムをご考案いただいております。完成次第本ページを更新いたします。
【プログラム】