柴田 英毅

柴田 英毅
【登録No】 00000009
【名前】 柴田 英毅
【フリガナ】 シバタ ヒデキ
【生年月日】
【会社名】 名古屋大学
【所属部署/役職】 未来社会創造機構 客員教授 兼 技術コンサルタント(半導体分野)(元 (株)東芝 研究開発センター 首席技監)
【学位・資格】 博士(DR)
【経験】
【対応可能サービス】 セミナー
【対応方法】
【関心キーワード】 多層配線 /3次元デバイス集積化技術
【動画URL】
【経歴】 1982年、(株)東芝 半導体技術研究所入社。高信頼性MOSFET及び高速・大容量SRAMの開発を経て、1991年より5世代にわたって高性能ロジックLSI及び大容量NANDフラッシュメモリ向けCu/Low-k多層配線技術の開発を統括。2006年より微細化によらない付加価値創出を目指したMore than Moore領域の革新的新機能デバイスの研究開発を牽引。これまでにIEEE主催国際学会の Best Paper Awardや社長特別表彰(功績賞)をはじめ、計7度の受賞歴あり。また、半導体デバイス・プロセス関連の国家プロジェクト・コンソーシアムの東芝側責任者をはじめ、ITRS国際半導体技術ロードマップ委員会インターコネクトWG主査やSSDM組織委員など、多くの社外役員を歴任。(株)東芝 研究開発センター 技監、首席技監を経て、現在、首席参与/チーフフェロー、兼、(株)デバイス&システム・プラットフォーム開発センター(DSPC)取締役副社長、並びに、名古屋大学、芝浦工業大学の客員教授、慶應義塾大学の訪問教授。
【専門内容】
多層配線 3次元デバイス集積化技術
【講演実績】
【受賞歴】 ・日刊工業新聞社十大新製品賞
・IEEE IITC2005 Best Paper Award受賞
・IMAPS2009 Best Paper Award受賞
・ADMETA2009 Best Paper Award受賞
・ADMETA2012 Best Paper Award、Technical Achievement Award受賞
・社長特別表彰(功績賞)
・電気学会センサ・マイクロマシン部門「優秀技術論文賞」
【著書】 『ロジックLSI技術の革新』(培風館)
『半導体プロセス技術』(培風館)
『応用物理ハンドブック』(丸善)
『Cu配線技術の最新の展開』(サイペック)
『異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用』(シーエムシー出版)
【論文】 ・審査付き学術論文及び主要国際学会での論文発表:計91件
【出願特許】 ・登録特許数:計73件
関連するカテゴリー分野の専門家プロフィール
【登録No】 00000906
【名前】 エンドウマサユキ
【ご所属(法人名)】 大阪大学
【所属部署/役職】 招聘教授
【学位・資格】 博士(DR)
【経 験】
  • マネジメント経験者
  • 事業開発経験者
  • 企業技術者(OB含む)
  • 大学研究者
【関心キーワード】
  • リソグラフィ
  • レジスト
  • EUV
  • ArF
  • ArF液浸
  • DSAリソグラフィ

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【登録No】 00000891
【名前】 イシハラヒデアキ
【ご所属(法人名)】 国立大学法人東海国立大学機構 岐阜大学
【所属部署/役職】 航空宇宙生産技術開発センター 特任教授/(元)株式会社デンソー 半導体部門部長
【学位・資格】 工学修士
【経 験】
  • マネジメント経験者
  • 事業開発経験者
  • 企業技術者(OB含む)
  • 大学研究者
【関心キーワード】
  • 半導体
  • モビリティ
  • SoC
  • パワー半導体
  • カーボンニュートラル
  • AI

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【登録No】 00000883
【名前】 コマツヒロシ
【ご所属(法人名)】 コネクテックジャパン株式会社
【所属部署/役職】 先端開発部/部長
【学位・資格】
【経 験】
  • マネジメント経験者
  • 企業技術者(OB含む)
  • 公的機関研究者
【関心キーワード】
  • 半導体

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【登録No】 00000858
【名前】 トモヤスマサユキ
【ご所属(法人名)】 合同会社アミコ・コンサルティング
【所属部署/役職】 CEO
【学位・資格】 学士
【経 験】
  • マネジメント経験者
  • 事業開発経験者
  • 企業技術者(OB含む)
【関心キーワード】
  • 事業開拓
  • 半導体製造
  • プラズマ
  • データサイエンス
  • 半導体材料
  • 制御

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【登録No】 00000856
【名前】 ニシムラタカヒト
【ご所属(法人名)】 東京科学大学(旧・東京工業大学)
【所属部署/役職】 工学院 / 助教
【学位・資格】 博士(DR)
【経 験】
  • 大学研究者
【関心キーワード】
  • 太陽光発電
  • エネルギー変換
  • 太陽電池
  • 化合物半導体
  • 結晶成長
  • 薄膜形技術

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【登録No】 10000066
【名前】 オオバノリオ
【ご所属(法人名)】 株式会社プリンシパルテクノロジー
【所属部署/役職】 代表取締役
【学位・資格】 修士
【経 験】
  • マネジメント経験者
  • 事業開発経験者
  • 企業技術者(OB含む)
【関心キーワード】
  • パワーエレクトロニクス
  • 制御工学
  • 組み込みソフト
  • UPS
  • PCS
  • ワイヤレス給電

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【登録No】 00000811
【名前】 サワマサヒロ
【ご所属(法人名)】 株式会社JCU
【所属部署/役職】 CS電子技術部 / 主任研究員
【学位・資格】 技術士
【経 験】
  • マネジメント経験者
  • 企業技術者(OB含む)
【関心キーワード】
  • めっき
  • 表面技術
  • 金属

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【登録No】 00000812
【名前】 スズキトシハル
【ご所属(法人名)】 サクセスインターナショナル
【所属部署/役職】 無所属 / 技術顧問
【学位・資格】 博士(DR)
【経 験】
  • マネジメント経験者
  • 企業技術者(OB含む)
  • 大学研究者
【関心キーワード】
  • 半導体技術
  • CMOS LSI技術
  • CMOS LSI作製プロセス技術
  • Si熱酸化技術
  • イオン注入技術
  • 熱処理技術

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【登録No】 00000798
【名前】 ハタケヤマタツヒコ
【ご所属(法人名)】 株式会社DCTA
【所属部署/役職】 代表取締役/(元)三菱化学株式会社
【学位・資格】 修士
【経 験】
  • マネジメント経験者
  • 事業開発経験者
  • 企業技術者(OB含む)
【関心キーワード】
  • プラスチック
  • 環境コンサル
  • AI
  • リサイクル
  • スマートファクトリー
  • IoT

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【登録No】 10000063
【名前】 ギジュツコモン
【ご所属(法人名)】 株式会社AndTech
【所属部署/役職】 技術顧問
【学位・資格】
【経 験】
  • 企業技術者(OB含む)
【関心キーワード】
  • 半導体洗浄
  • CMP

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【登録No】 00000750
【名前】 ハヤカワテルアキ
【ご所属(法人名)】 東京工業大学
【所属部署/役職】 物質理工学院材料系 / 教授 
【学位・資格】 博士(DR)
【経 験】
  • 大学研究者
【関心キーワード】
  • 重縮合
  • ブロック共重合体
  • 自己組織化
  • ソフトマテリアル
  • 高分子薄膜
  • ナノファブリケーション

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【登録No】 00000740
【名前】 ハッポウヤアキヒコ
【ご所属(法人名)】 株式会社ダイセル
【所属部署/役職】 スマートSBU
【学位・資格】 博士(DR)
【経 験】
  • マネジメント経験者
  • 事業開発経験者
  • 大学研究者
【関心キーワード】
  • 実装
  • 半導体
  • 後工程
  • プリント配線板

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【登録No】 00000707
【名前】 オオゾノケンゴ
【ご所属(法人名)】 ソメイテック
【所属部署/役職】 代表
【学位・資格】 技術士
【経 験】
  • マネジメント経験者
  • 事業開発経験者
  • 企業技術者(OB含む)
【関心キーワード】
  • 薄膜
  • スパッタリング
  • 蒸着
  • リソグラフィ
  • 機能性フィルム
  • 表面処理

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【登録No】 00000634
【名前】 スズリヨシユキ
【ご所属(法人名)】 山形大学
【所属部署/役職】 有機エレクトロニクスイノベーションセンター / 副センター長・教授
【学位・資格】 博士(DR)
【経 験】
  • 大学研究者
【関心キーワード】
  • バリア膜
  • 有機EL
  • フレキシブル
  • 印刷
  • 塗布
  • 光緻密化

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【登録No】 10000065
【名前】 さいきかずゆき
【ご所属(法人名)】 超音波システム研究所
【所属部署/役職】 代表
【学位・資格】
【経 験】
  • マネジメント経験者
  • 事業開発経験者
  • 企業技術者(OB含む)
【関心キーワード】
  • 超音波
  • 表面処理
  • 超音波洗浄機
  • 振動測定
  • 音圧測定
  • 音圧解析

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【登録No】 00000531
【名前】 イケナガカズオ
【ご所属(法人名)】 サクセスインターナショナル株式会社
【所属部署/役職】 取締役社長
【学位・資格】
【経 験】
  • マネジメント経験者
  • 企業技術者(OB含む)
【関心キーワード】
  • 半導体パッケージ

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【登録No】 00000439
【名前】 カメワダタダシ
【ご所属(法人名)】 AZ Supply Chain Solutions
【所属部署/役職】 ビジネスコンサルティング
【学位・資格】
【経 験】
【関心キーワード】
  • 半導体
  • 半導体材料
  • IC基板
  • 半導体装置

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【登録No】 00000432
【名前】 ニシダヒデユキ
【ご所属(法人名)】 NEP Tech. S&S ニシダエレクトロニクス実装技術支援
【所属部署/役職】 代表
【学位・資格】 博士(DR)
【経 験】
  • 企業技術者(OB含む)
【関心キーワード】
  • チップレット
  • 半導体
  • Soldering
  • Interconnection
  • 実装

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【登録No】 10000054
【名前】 オウチトシヒコ
【ご所属(法人名)】 Tera-eyes技術研究所
【所属部署/役職】 所長 代表(博士(工学)) 兼 東海大学 総合科学技術研究所 教授 弁理士 技術士(電気電子部門)
【学位・資格】 博士(DR)/技術士/弁理士
【経 験】
  • マネジメント経験者
  • 事業開発経験者
  • 企業技術者(OB含む)
  • 大学研究者
【関心キーワード】
  • 光・電磁波
  • 半導体
  • 特許
  • 起業
  • ライフサイエンス
  • テラヘルツ

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【登録No】 00000318
【名前】 サイトウケンイチ
【ご所属(法人名)】 広島大学
【所属部署/役職】 自然科学研究支援開発センター / 副センター長・教授
【学位・資格】 博士(DR)
【経 験】
  • 大学研究者
【関心キーワード】
  • 量子ドット
  • 導電性高分子
  • 水素製造
  • メカノケミカル反応
  • 分光
  • 物理化学,材料科学,ナノサイエンス

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【登録No】 00000314
【名前】 ヤマダタツヤ
【ご所属(法人名)】 ACE LABO.
【所属部署/役職】 代表
【学位・資格】 技術士
【経 験】
  • 事業開発経験者
  • 企業技術者(OB含む)
【関心キーワード】
  • リソグラフィ
  • 半導体
  • (5感)センサー
  • 生物模倣
  • メタバース
  • 生成系AI

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【登録No】 00000290
【名前】 ハマモトノブオ
【ご所属(法人名)】 AndanTEC
【所属部署/役職】 代表
【学位・資格】 修士
【経 験】
  • マネジメント経験者
  • 事業開発経験者
  • 企業技術者(OB含む)
【関心キーワード】
  • 塗工
  • Roll To Roll
  • 異物
  • クリーンルーム
  • スロットダイ
  • フィルム

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【登録No】 00000288
【名前】 コモダタクヤ
【ご所属(法人名)】 国立大学法人 山形大学
【所属部署/役職】 リーディング大学院
【学位・資格】 博士(DR)
【経 験】
  • マネジメント経験者
  • 事業開発経験者
  • 企業技術者(OB含む)
  • 大学研究者
【関心キーワード】
  • 半導体(有機・無機)
  • 光技術
  • ナノテクノロジー
  • OLED/LED
  • イノベーションデザイン

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【登録No】 30000099
【名前】 アンドテックコモンシンキセンモンカ
【ご所属(法人名)】 (株)AndTech
【所属部署/役職】 技術顧問
【学位・資格】
【経 験】
  • マネジメント経験者
  • 事業開発経験者
  • 企業技術者(OB含む)
  • 大学研究者
  • 公的機関研究者
【関心キーワード】
  • 技術顧問
  • コンサルタント
  • 社内研修
  • スポットコンサルティング
  • 市場調査
  • 事業開発

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【登録No】 00000215
【名前】 トロンナムチャイクライソン
【ご所属(法人名)】 タイ・バンコク大学
【所属部署/役職】 招聘教授/(元)日産自動車/(元)神奈川工科大学 自動車システム開発工学科 教授
【学位・資格】 博士(DR)/技術士
【経 験】
  • 企業技術者(OB含む)
  • 大学研究者
【関心キーワード】
  • EV
  • パワーエレクトロニクス
  • EMC
  • 高電圧安全
  • 自動運転
  • センサー

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【登録No】 00000203
【名前】 ヨコヤマナオキ
【ご所属(法人名)】 横山技術事務所
【所属部署/役職】 代表  (元・新日鉄住金化学(株) 総合研究所)  工学博士 
【学位・資格】 博士(DR)
【経 験】
  • マネジメント経験者
  • 事業開発経験者
  • 企業技術者(OB含む)
【関心キーワード】
  • 材料化学
  • エポキシ樹脂
  • 電子材料
  • 化学工学
  • 環境・エネルギー
  • 品質管理

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【登録No】 00000174
【名前】 コバヤシユキオ
【ご所属(法人名)】 小林技術士事務所
【所属部署/役職】 所長
【学位・資格】 博士(DR)/技術士
【経 験】
  • マネジメント経験者
  • 事業開発経験者
【関心キーワード】
  • 導電性高分子
  • 導電性コンポジット
  • PEDOT
  • 電気伝導度
  • パーコレーション

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【登録No】 10000035
【名前】 ノムラカズヒロ
【ご所属(法人名)】 NBリサーチ
【所属部署/役職】 代表
【学位・資格】 修士
【経 験】
  • マネジメント経験者
  • 事業開発経験者
  • 企業技術者(OB含む)
【関心キーワード】
  • エポキシ樹脂
  • 接着剤
  • 半導体封止材
  • 複合材
  • マトリックス
  • 異種材

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【登録No】 10000032
【名前】 マスリケンジ
【ご所属(法人名)】 株式会社AndTech (元京セラ)
【所属部署/役職】 技術顧問
【学位・資格】
【経 験】
  • マネジメント経験者
  • 事業開発経験者
  • 企業技術者(OB含む)
【関心キーワード】
  • 太陽電池
  • Si結晶型
  • ソーラー
  • PV
  • イメージセンサ
  • 製版

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【登録No】 10000030
【名前】 ミツモリコウジ
【ご所属(法人名)】 Advanced Manufacturing Stage (AMstage)
【所属部署/役職】 代表/日本3Dプリンティング産業技術協会 代表理事
【学位・資格】
【経 験】
  • 事業開発経験者
  • 企業技術者(OB含む)
【関心キーワード】
  • 3Dプリンタ
  • AM
  • 積層造形
  • アディティブマニュファクチャリング
  • DFAM
  • MEX

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【登録No】 10000025
【名前】 イソムラマサヨシ
【ご所属(法人名)】 磯村技術士事務所
【所属部署/役職】 代表
【学位・資格】 技術士
【経 験】
  • マネジメント経験者
  • 事業開発経験者
  • 企業技術者(OB含む)
【関心キーワード】
  • 自動制御
  • FAシステム
  • パワーエレクトロニクス
  • メカトロニクス
  • センサ
  • ロボット

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【登録No】 10000018
【名前】 イソベアキラ
【ご所属(法人名)】 株式会社ISTL
【所属部署/役職】 代表取締役
【学位・資格】 博士(DR)/知的財産管理技能士、中小企業診断士
【経 験】
  • マネジメント経験者
  • 事業開発経験者
  • 企業技術者(OB含む)
【関心キーワード】
  • 半導体
  • CMP
  • 製造プロセス
  • コンディショナ
  • 研磨パッド
  • ダイシング

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【登録No】 00000047
【名前】 コクボミツノリ
【ご所属(法人名)】 芝浦機械株式会社
【所属部署/役職】 常務執行役員 R&Dセンター センター長
【学位・資格】 博士(DR)
【経 験】
  • 企業技術者(OB含む)
【関心キーワード】
  • ナノインプリントリソグラフィ

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【登録No】 00000046
【名前】 セキグチアツシ
【ご所属(法人名)】 リソテックジャパン株式会社/大阪公立大学
【所属部署/役職】 ナノサイエンス研究所 所長 博士(工学)/大学院工学研究科 客員教授
【学位・資格】 博士(DR)
【経 験】
  • 企業技術者(OB含む)
  • 大学研究者
【関心キーワード】
  • ナノインプリントリソグラフィ
  • EUVリソグラフィ

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【登録No】 00000045
【名前】 ヒライヨシヒコ
【ご所属(法人名)】 大阪府立大学
【所属部署/役職】 名誉教授/大阪公立大学 特選研究員/応用物理学会 ナノインプリント技術研究会 顧問/3次元ヘテロインテグレーション研究会 (3DHI) 理事
【学位・資格】
【経 験】
  • 大学研究者
【関心キーワード】
  • ナノインプリントリソグラフィ

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【登録No】 00000025
【名前】 マツモトヒロフミ
【ご所属(法人名)】 フレックスリンク・テクノロジー(株)(FlexLink Technology Co., Ltd.)
【所属部署/役職】 代表取締役社長 工学博士(元日本メクトロン(株) 取締役・フェロー)
【学位・資格】 博士(DR)
【経 験】
  • マネジメント経験者
  • 事業開発経験者
  • 企業技術者(OB含む)
【関心キーワード】
  • 次世代通信FPC
  • フレキシブルプリント配線板
  • プリンテッドエレクトロニクス
  • FPC

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