柴田 英毅
【登録No】 | 00000009 |
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【名前】 | 柴田 英毅 |
【フリガナ】 | シバタ ヒデキ |
【生年月日】 | |
【会社名】 | 株式会社東芝 |
【所属部署/役職】 | 研究開発センター 首席参与(元 首席技監) |
【学位・資格】 | 博士(DR) |
【経験】 | |
【対応可能サービス】 | セミナー |
【対応方法】 | |
【関心キーワード】 | 多層配線 /3次元デバイス集積化技術 |
【動画URL】 | |
【経歴】 | (株)東芝 半導体技術研究所入社。高信頼性MOSFET及び高速・大容量SRAMの開発を経て、 |
【専門内容】 |
多層配線 3次元デバイス集積化技術
|
【講演実績】 | |
【受賞歴】 | ・日刊工業新聞社十大新製品賞 ・IEEE IITC2005 Best Paper Award受賞 ・IMAPS2009 Best Paper Award受賞 ・ADMETA2009 Best Paper Award受賞 ・ADMETA2012 Best Paper Award、Technical Achievement Award受賞 ・社長特別表彰(功績賞) ・電気学会センサ・マイクロマシン部門「優秀技術論文賞」 |
【著書】 | 『ロジックLSI技術の革新』(培風館) 『半導体プロセス技術』(培風館) 『応用物理ハンドブック』(丸善) 『Cu配線技術の最新の展開』(サイペック) 『異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用』(シーエムシー出版) |
【論文】 | ・審査付き学術論文及び主要国際学会での論文発表:計91件 |
【出願特許】 | ・登録特許数:計73件 |
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