礒部 晶

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【登録No】 | 10000018 |
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【名前】 | 礒部 晶 |
【フリガナ】 | イソベ アキラ |
【生年月日】 | 1958-09-01 |
【会社名】 | 株式会社ISTL |
【所属部署/役職】 | 代表取締役 |
【学位・資格】 | 博士(DR)/知的財産管理技能士、中小企業診断士 |
【経験】 | マネジメント経験者/事業開発経験者/企業技術者(OB含む) |
【対応可能サービス】 | セミナー/事業開発コンサルティング/技術コンサルタント派遣/スポット専門家コンサルティング/講師派遣(社員研修)/技術動向調査・市場調査・技術ライティング |
【対応方法】 | 英語対応可/事前面談(無料)対応可(WEB対応含む)/Web対応可 |
【関心キーワード】 | 半導体/CMP/製造プロセス/コンディショナ/研磨パッド/ダイシング |
【動画URL】 | |
【経歴】 |
1984 京都大学原子核工学科修士課程修了 1984-2002 NECにてLSI多層配線プロセス開発、1991よりCMPの開発、量産化に従事 2002-2006 東京精密(株)にて執行役員CMPグループリーダー 2006-20013 ニッタハースにて研究開発GM 2013-2015 (株)ディスコにて新規事業開発 2014 九州大学より博士学位取得 2015- (株)ISTL設立 半導体・CMP関連を中心に技術開発、事業開発アドバイザー 2016 二級FP技能士、二級知的財産管理技能士 2018 中小企業診断士 現在に至る。 |
【専門内容】 |
半導体デバイスメーカー、半導体製造装置メーカー、半導体材料メーカーでの経験を基に、半導体の基礎、半導体製造プロセスを得意とし、特にCMPに関しては深い知識と経験を有します。また、後工程を得意とする企業にも在籍しており、後工程に関するセミナー実績も多数有ります。さらに、知的財産管理技能士、中小企業診断士の資格を有しており、知財面からのアドバイスや、経営面からのアドバイスも可能です。
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【講演実績】 | 「誰でもわかる!半導体デバイスの製造工程入門」(AndTechセミナー) 「半導体デバイスの製造工程入門講座」(AndTechセミナー) 「最新メモリ技術の動向とCMP技術最前線」(AndTechセミナー) 「AI化、IoT化 に向けた半導体パッケージ技術の進化と要素技術」(AndTechセミナー) 「ダイシング技術の基礎」(AndTechセミナー) 「CMP技術の基礎から応用」(AndTechセミナー) |
【受賞歴】 | |
【著書】 | 1.電子ジャーナルElectronic Journal別 冊 2002半 導体テクノロジー大全:第4編 半導体製造技術 第13章CMP 第1節CMP技 術総論、第3節 層間絶縁膜CMP技 術と装置・材料 2.電子ジャーナルElectronic Journal別 冊 2004半 導体テクノロジー大全:第4編 半導体製造技術 第13章CMP 第1節CMP技 術総論、第3節 層間絶縁膜CMP技 術と装置・材料 3.礒部晶:LSIデ バイスの進展とそれを支えるCMP装 置、月刊トライボロジー 16 (2002) 184(解 説記事) 4.礒部晶:CMPにおけるe-manufacturing、SEAJ Forum 2004 5.礒部晶:CMPの「継続的改善」に求められる研磨パッド材特性、Material Stage 6 (2006) 69 (解 説記事) 6.礒部晶:CMPの 基礎と実際、砥粒加工学会 第17回 グラインディングアカデミーテキスト、2009年、p. 40 7.礒部晶:要素技術を統合する次世代CMP装置開発、砥粒加工学会誌 50 (2006) 448 (解説記事) 8.礒部晶:平面精密研磨に用いられる研磨パッドの技術動向 精密工学会誌 78 (2012) 937 (解説記事) 9.迫り来るAI時代に向けた半導体製造プロセスの今 2019年5月21日 情報機構刊 |
【論文】 | 1.三橋真成、小野秀之、礒部晶:CMPに よる平坦化研磨-パッドとウエハ の接触状態-、精密工学会秋期大会学術講演会講演論文集 1995年 p. 409 2.三橋真成、小野秀之、礒部晶、山森篤:CMPに よる平坦化研磨-パッド真実接触 面積と研磨レート-、精密工学会春季大会学術講演会講演論文集1996年p. 927 3.赤時正敏、森崎貞和、木下正治、繁田好胤、礒部晶、吉田光一、朴栽弘、柏原洋史、河井奈緒子、宮本一隆、田中佑典、淡井良平:研磨パッ ドのブレークインフリーを目指した表面加工とその評価結果、精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 2009年 p. 1037 4. 尾形謙次郎、妹尾浩行、吉田公一、礒部晶:研磨性能に影響を及ぼすパッド表面指標の研究、精密工学会秋期大会学術講演会講演論文集、2010年、p. 143 5. 山本恵司、羽場真一、礒部晶:ナップパッドの研磨レート低下メカニズムに関する研究、精密工学会大会学術講演会講演論文集、2010年、p.731 6. 礒部晶、西澤秀明、羽場真一:研磨パッドおよび砥粒のコンタクトエリアを考慮した研磨メカニズムの数量的考察、精密工学会春期大会学術 講演会講演論文集、2011年、p. 347 |
【出願特許】 | 1 特開昭61-196555 多層配線の形成方法 2 特開昭62-118544 特許1890924 多層配線の形成方法 3 特開昭62-137853 多層配線の形成方法 4 特開昭63-025929 半導体集積回路 5 特開昭63-025952 半導体装置 6 特開昭63-076351 特許1852101 多層配線の形成方法 7 特開昭63-226946 特許1862686 半導体装置 8 特開昭63-229840 特許1891060 多層配線の形成方法 9 特開昭63-275118 半導体装置の製造方法 10 特開平01-014938 多層配線の形成方法 11 特開平01-047047 特許1891120 多層配線の形成方法 12 特開平01-108748 特許1981050 多層配線構造を有する半導体装置 13 特開平01-248540 塗布膜の形成方法 14 特開平01-253256 特許2569709 配線の形成方法 15 特開平02-065256 特許2716156 半導体装置の製造方法 16特開平02-073652 特許2606315 半導体装置の製造方法 17特開平02-113555 特許2081878 半導体装置の製造方法 18特開平02-174250 特許2006725 半導体装置 19 特開平02-291129 半導体装置 20 特開平02-304922 微細パターンの形成方法 21 特開平03-008334 半導体装置 22 特開平03-157931 半導体装置の製造方法 23 特開平03-222424 半導体装置の製造方法 24 特開平03-227021 特許2663662 半導体装置の製造方法 25 特開平04-134818 半導体装置の製造方法 26 特開平04-162427 シリコンオキシナイトライド膜の成膜方法 27 特開平04-154125 半導体装置の製造方法 28 特開平04-165651 特許2699644 半導体装置の製造方法 29 特開平04-184934 半導体装置の製造方法 30 特開平05-036839 半導体装置の製造方法 31 特開平05-055388 半導体装置の製造方法 32 特開平05-129221 半導体装置の製造方法 33 特開平05-160272 半導体装置の製造方法 34 特開平06-120219 特許2970255 金属配線の形成方法 35 特開平06-169018 特許2077519 半導体装置の製造方法 36 特開平06-181209 特許2611615 半導体装置の製造方法 37 特開平07-135242 特許2570155 半導体装置 38 特開平07-135250 特許2560626 半導体装置の製造方法 39 特開平07-147278 特許2561007 半導体装置の製造方法 40 特開平07-153745 半導体装置の製造方法 41 特開平07-188915 特許2959373 スパッタ装置 42 特開平07-237120 ウェーハ研磨装置 43 特開平08-153709 特許2727984 半導体装置の製造方法 44 特開平08-197418 特許2616735 ウェハの研磨方法およびその装置 45 特開平08-267357 基板の研磨装置及びその研磨方法 46 特開平09-109019 特許2833552 ウェハ研磨方法および研磨装置 47 特開平09-131659 特許2833549 研磨布の表面調整方法及び機構 48 特開平09-139366 特許3129172 研磨装置及びリテーナーリングの形状調整方法 49 特開平11-008229 特許2993468 スパッタエッチモニタ方法およびスパッタエッチモニタ用パターン 50 特開平11-048124 特許3011146 研磨布表面調整機構、研磨布表面調整方法および研磨装置 51 特開平11-145129 半導体装置の製造方法 52 特開2003-035525 表面検査方法および装置 53 特開2009-296304 半導体デバイス用基板及びSOI基板 54 特開2009-296303 半導体デバイスの製造方法 55 特開2009-132594 特許5478945 研磨パッドのコンディショナー 56 特開2009-132593 特許5422262 研磨パッドのコンディショナー 57 特開2017-092135 デバイスの製造方法 58 特開2017-035751 パッドドレッサー 59 特開2016-049606 研磨装置及びリテーナーリングの形状調整方法 60 特開2015-221462 特許6355429 研磨パッドの製造方法 61 特開2015-205389 研磨パッド及び研磨装置 |
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【登録No】 | 00000542 |
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【名前】 | タニグチシゲヒト |
【ご所属(法人名)】 | 無所属(旧 住友電装(株)電子事業本部 グローバル製造部 |
【所属部署/役職】 | 無所属(旧担当部長) |
【学位・資格】 | マイクロソルダリング技術者、実装工程管理技術者、マイクロ はんだ・オペレータ/インスペクタ(以上日本溶接協会)、QC検定 2級(日本規格協会)、危険物乙4類、有機溶剤作業、鉛作業、 乾燥設備作業、第2酸素欠乏作業、特定化学物質作業 各主任者 (以上労働基準監督署)、中学・高校教員免許(理科)、ものつくり(はんだ)専門家(三重県産業支援センター) |
【経 験】 |
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【関心キーワード】 |
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