鈴木 恵友
【登録No】 | 00000722 |
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【名前】 | 鈴木 恵友 |
【フリガナ】 | スズキ ケイスケ |
【生年月日】 | |
【会社名】 | 九州工業大学 |
【所属部署/役職】 | 大学院情報工学研究院 知的システム工学研究系 / 教授 |
【学位・資格】 | 博士(DR) |
【経験】 | |
【対応可能サービス】 | セミナー |
【対応方法】 | |
【関心キーワード】 | 化学的機械的研磨/先進加工/材料科学/半導体/CMP |
【動画URL】 | |
【経歴】 |
2022年04月 - 2024年03月 九州工業大学 大学院情報工学研究院 情報工学専攻長 2020年04月 - 現在 九州工業大学 大学院情報工学研究院 副情報工学研究院長 2019年04月 - 現在 九州工業大学 大学院情報工学研究院 知的システム工学研究系 教授 2018年04月 - 2019年03月 九州工業大学 情報工学部 情報工学部機械情報工学科長 2018年04月 - 2019年03月 九州工業大学 大学院情報工学研究院 情報工学研究院機械情報工学研究系長 2017年04月 - 2018年03月 九州工業大学 情報工学部 情報工学部機械情報工学科長 2017年04月 - 2018年03月 九州工業大学 大学院情報工学研究院 情報工学研究院機械情報工学研究系長 2016年03月 - 2019年03月 九州工業大学 大学院情報工学研究院 機械情報工学研究系 教授 |
【専門内容】 |
材料科学,ナノマイクロ加工,半導体プロセス,
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【講演実績】 | |
【受賞歴】 | |
【著書】 | |
【論文】 | 半導体プロセスにおけるCMP技術の適用 招待有り 鈴木 恵友, 西澤 秀明 精密工学会誌 ( 公益社団法人 精密工学会 ) 88 ( 8 ) 627 - 630 2022年08月 難加工技術における現状と課題 招待有り 査読有り 鈴木 恵友 精密工学会誌 ( 公益社団法人 精密工学会 ) 88 ( 6 ) 431 - 434 2022年06月 Study on the suam double magnet system for polishing 招待有り 査読有り 国際誌 Nakasaki T., Kinoshita Y., Khajornrungruang P., Otabe E.S., Suzuki K. International Journal of Automation Technology ( 富士技術出版株式会社 ) 15 ( 4 ) 503 - 511 2021年07月 Study on material removal mechanism for Cu-CMP on a patterned silicon wafer 査読有り 国際誌 Bakier M.A.Y.A., Matsumoto R., Fuchiwaki M., Khajornrungruang P., Suzuki K. 10th International Conference on Leading Edge Manufacturing Technologies in 21st Century, LEM 2021 243 - 245 2021年01月 Investigation on the Abrasive Phenomenon of Colloidal SiO<inf>2</inf> Particles and Water-soluble C<inf>60</inf> Inclusion Complex Particles in the CMP Process of the 4H-SiC Substrate Wafer 査読有り Tsai Y.H., Suzuki K., Chen C.C.A., Khajornrnrungruang P. 10th International Conference on Leading Edge Manufacturing Technologies in 21st Century, LEM 2021 248 - 251 2021年01月 他 |
【出願特許】 |
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