今井 正芳
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| 【登録No】 | 00000871 |
|---|---|
| 【名前】 | 今井 正芳 |
| 【フリガナ】 | イマイ マサヨシ |
| 【生年月日】 | 1963-03-26 |
| 【会社名】 | 株式会社荏原製作所 |
| 【所属部署／役職】 | 精密・電子カンパニー 装置事業部 技術マーケティング課 |
| 【学位・資格】 | |
| 【経験】 | 事業開発経験者／企業技術者(OB含む) |
| 【対応可能サービス】 | セミナー／スポット専門家コンサルティング |
| 【対応方法】 | 早朝 or 夜間スポットコンサル対応可／事前面談(無料)対応可(WEB対応含む)／休日(土日祝祭日)対応可／Web対応可 |
| 【関心キーワード】 | 半導体洗浄一般／半導体CMP |
| 【動画URL】 | |
| 【経歴】 |
1985年 1985年：大日本スクリーン製造(株)（現 (株)SCREENホールディングス）入社、当初拡散炉の開発に従事。 1989年 洗浄装置研究開発に異動し主に枚葉洗浄プロセス開発に従事。一時、米国出向、Selete出向を経て、マーケティング部門に転向。 2010年 荏原製作所に入社、主にCMPの後洗浄プロセス技術開発に従事。2022年からマーケティング部門に異動し、現在に至る。 社外活動； 2002～2006 SEAJウェーハプロセスWG 委員（委員長含む） 2005～2009 STRJ WG4（配線） 委員 2017～ ADMETA委員（チュートリアル委員長含む） |
| 【専門内容】 |
これまで、私は「半導体のウェット洗浄」をキーワードとして掲げ、枚葉式洗浄のプロセス技術開発を中心に30年以上研究開発してきました。
|
| 【講演実績】 | 2001SEMI表面洗浄セミナー VLSIフォーラム 2004 2004 ISESH Commitment to ESH for Cleaning Equipment 2007 技術情報協会主催 洗浄技術セミナー 2008 技術情報協会主催 洗浄技術セミナー 2008 電子ジャーナル第186回ULSI洗浄・乾燥技術徹底検証 2023 CVD反応分科会第38回シンポジウム「化学機械研磨技術（CMP）とCMPに関する技術の基礎」 2024 技術情報協会セミナー「半導体洗浄の中のCMP洗浄とは」 2024 R&D支援センター「半導体製造の化学機械研磨（CMP）技術の概要とCMP後洗浄の特徴～今後の動向」 2024 情報機構セミナー「半導体製造の化学機械研磨（CMP）技術の概要とCMP後洗浄の特徴～今後の動向」 |
| 【受賞歴】 | |
| 【著書】 | 【製品紹介】スクリーンの枚葉洗浄装置 (クリーンテクノロジー (2001.8) 部分執筆 TN130nm以降のポリマー除去装置 (電子材料 (2003.10) 部分執筆 わが社の配線工程用洗浄技術・洗浄 (クリーンテクノロジー (2003.12) 部分執筆 65ｎｍ世代のウェット処理技術と装置 (産業タイムズ社『半導体産業新聞』(2005.10) エレクトロニクス洗浄技術 (技術情報協会、2007) 編集幹事 Cu/low-k構造プロセスの洗浄技術 (月間クリーンテクノロジー) (2007.12) 部分執筆 関東化学出版「THE CHEMICAL TIMES」特集電子デバイス製造技術に執筆 |
| 【論文】 | Controlling Cu Corrosion in Single Wafer Cleaning Process，Imai, et al., Proc. of SSDM, P28, (2008) |
| 【出願特許】 |
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| 【登録No】 | 00000858 |
|---|---|
| 【名前】 | トモヤスマサユキ |
| 【ご所属（法人名）】 | 合同会社アミコ・コンサルティング |
| 【所属部署／役職】 | CEO |
| 【学位・資格】 | 学士 |
| 【経 験】 |
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| 【関心キーワード】 |
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| 【登録No】 | 00000856 |
|---|---|
| 【名前】 | ニシムラタカヒト |
| 【ご所属（法人名）】 | 東京工業大学 |
| 【所属部署／役職】 | 工学院 / 助教 |
| 【学位・資格】 | 博士(DR) |
| 【経 験】 |
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| 【関心キーワード】 |
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| 【登録No】 | 10000066 |
|---|---|
| 【名前】 | オオバノリオ |
| 【ご所属（法人名）】 | 株式会社プリンシパルテクノロジー |
| 【所属部署／役職】 | 代表取締役 |
| 【学位・資格】 | 修士 |
| 【経 験】 |
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| 【関心キーワード】 |
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| 【登録No】 | 00000812 |
|---|---|
| 【名前】 | スズキトシハル |
| 【ご所属（法人名）】 | サクセスインターナショナル |
| 【所属部署／役職】 | 無所属 / 技術顧問 |
| 【学位・資格】 | 博士(DR) |
| 【経 験】 |
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| 【関心キーワード】 |
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| 【登録No】 | 00000798 |
|---|---|
| 【名前】 | ハタケヤマタツヒコ |
| 【ご所属（法人名）】 | 株式会社DCTA |
| 【所属部署／役職】 | 代表取締役／（元）三菱化学株式会社 |
| 【学位・資格】 | 修士 |
| 【経 験】 |
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| 【登録No】 | 10000063 |
|---|---|
| 【名前】 | ギジュツコモン |
| 【ご所属（法人名）】 | 株式会社AndTech |
| 【所属部署／役職】 | 技術顧問 |
| 【学位・資格】 | |
| 【経 験】 |
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| 【関心キーワード】 |
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| 【登録No】 | 00000750 |
|---|---|
| 【名前】 | ハヤカワテルアキ |
| 【ご所属（法人名）】 | 東京工業大学 |
| 【所属部署／役職】 | 物質理工学院材料系 / 教授 |
| 【学位・資格】 | 博士(DR) |
| 【経 験】 |
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| 【登録No】 | 00000740 |
|---|---|
| 【名前】 | ハッポウヤアキヒコ |
| 【ご所属（法人名）】 | 株式会社ダイセル |
| 【所属部署／役職】 | スマートSBU |
| 【学位・資格】 | 博士(DR) |
| 【経 験】 |
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| 【登録No】 | 00000707 |
|---|---|
| 【名前】 | オオゾノケンゴ |
| 【ご所属（法人名）】 | ソメイテック |
| 【所属部署／役職】 | 代表 |
| 【学位・資格】 | 技術士 |
| 【経 験】 |
|
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| 【登録No】 | 00000634 |
|---|---|
| 【名前】 | スズリヨシユキ |
| 【ご所属（法人名）】 | 山形大学 |
| 【所属部署／役職】 | 有機エレクトロニクスイノベーションセンター / 副センター長・教授 |
| 【学位・資格】 | 博士(DR) |
| 【経 験】 |
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| 【登録No】 | 10000065 |
|---|---|
| 【名前】 | さいきかずゆき |
| 【ご所属（法人名）】 | 超音波システム研究所 |
| 【所属部署／役職】 | 代表 |
| 【学位・資格】 | |
| 【経 験】 |
|
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| 【登録No】 | 00000531 |
|---|---|
| 【名前】 | イケナガカズオ |
| 【ご所属（法人名）】 | サクセスインターナショナル株式会社 |
| 【所属部署／役職】 | 取締役副社長 |
| 【学位・資格】 | |
| 【経 験】 |
|
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| 【登録No】 | 00000439 |
|---|---|
| 【名前】 | カメワダタダシ |
| 【ご所属（法人名）】 | AZ Supply Chain Solutions |
| 【所属部署／役職】 | ビジネスコンサルティング |
| 【学位・資格】 | |
| 【経 験】 |
|
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| 【登録No】 | 00000432 |
|---|---|
| 【名前】 | ニシダヒデユキ |
| 【ご所属（法人名）】 | NEP Tech. S&S ニシダエレクトロニクス実装技術支援 |
| 【所属部署／役職】 | 代表 |
| 【学位・資格】 | 博士(DR) |
| 【経 験】 |
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| 【登録No】 | 10000054 |
|---|---|
| 【名前】 | オウチトシヒコ |
| 【ご所属（法人名）】 | Tera-eyes技術研究所 |
| 【所属部署／役職】 | 所長 代表（博士（工学）） 兼 東海大学 総合科学技術研究所 教授 弁理士 技術士（電気電子部門） |
| 【学位・資格】 | 博士(DR)／技術士／弁理士 |
| 【経 験】 |
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| 【登録No】 | 00000318 |
|---|---|
| 【名前】 | サイトウケンイチ |
| 【ご所属（法人名）】 | 広島大学 |
| 【所属部署／役職】 | 自然科学研究支援開発センター / 副センター長・教授 |
| 【学位・資格】 | 博士(DR) |
| 【経 験】 |
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| 【登録No】 | 00000314 |
|---|---|
| 【名前】 | ヤマダタツヤ |
| 【ご所属（法人名）】 | ACE LABO. |
| 【所属部署／役職】 | 代表 |
| 【学位・資格】 | 技術士 |
| 【経 験】 |
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| 【関心キーワード】 |
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| 【登録No】 | 00000290 |
|---|---|
| 【名前】 | ハマモトノブオ |
| 【ご所属（法人名）】 | AndanTEC |
| 【所属部署／役職】 | 代表 |
| 【学位・資格】 | 修士 |
| 【経 験】 |
|
| 【関心キーワード】 |
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| 【登録No】 | 00000288 |
|---|---|
| 【名前】 | コモダタクヤ |
| 【ご所属（法人名）】 | 国立大学法人 山形大学 |
| 【所属部署／役職】 | リーディング大学院 |
| 【学位・資格】 | 博士(DR) |
| 【経 験】 |
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| 【登録No】 | 30000099 |
|---|---|
| 【名前】 | アンドテックコモンシンキセンモンカ |
| 【ご所属（法人名）】 | (株)AndTech |
| 【所属部署／役職】 | 技術顧問 |
| 【学位・資格】 | |
| 【経 験】 |
|
| 【関心キーワード】 |
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| 【登録No】 | 00000215 |
|---|---|
| 【名前】 | トロンナムチャイクライソン |
| 【ご所属（法人名）】 | 神奈川工科大学 |
| 【所属部署／役職】 | 自動車システム開発工学科 教授 |
| 【学位・資格】 | 博士(DR)／技術士 |
| 【経 験】 |
|
| 【関心キーワード】 |
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| 【登録No】 | 00000203 |
|---|---|
| 【名前】 | ヨコヤマナオキ |
| 【ご所属（法人名）】 | 横山技術事務所 |
| 【所属部署／役職】 | 代表 (元・新日鉄住金化学(株) 総合研究所) 工学博士 |
| 【学位・資格】 | 博士(DR) |
| 【経 験】 |
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| 【関心キーワード】 |
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| 【登録No】 | 00000174 |
|---|---|
| 【名前】 | コバヤシユキオ |
| 【ご所属（法人名）】 | 小林技術士事務所 |
| 【所属部署／役職】 | 所長 |
| 【学位・資格】 | 博士(DR)／技術士 |
| 【経 験】 |
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| 【関心キーワード】 |
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| 【登録No】 | 10000035 |
|---|---|
| 【名前】 | ノムラカズヒロ |
| 【ご所属（法人名）】 | NBリサーチ |
| 【所属部署／役職】 | 代表 |
| 【学位・資格】 | 修士 |
| 【経 験】 |
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| 【関心キーワード】 |
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| 【登録No】 | 10000032 |
|---|---|
| 【名前】 | マスリケンジ |
| 【ご所属（法人名）】 | 株式会社AndTech (元京セラ) |
| 【所属部署／役職】 | 技術顧問 |
| 【学位・資格】 | |
| 【経 験】 |
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| 【関心キーワード】 |
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| 【登録No】 | 10000030 |
|---|---|
| 【名前】 | ミツモリコウジ |
| 【ご所属（法人名）】 | Advanced Manufacturing Stage (AMstage) |
| 【所属部署／役職】 | 代表／日本3Dプリンティング産業技術協会 代表理事 |
| 【学位・資格】 | |
| 【経 験】 |
|
| 【関心キーワード】 |
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| 【登録No】 | 10000025 |
|---|---|
| 【名前】 | イソムラマサヨシ |
| 【ご所属（法人名）】 | 磯村技術士事務所 |
| 【所属部署／役職】 | 代表 |
| 【学位・資格】 | 技術士 |
| 【経 験】 |
|
| 【関心キーワード】 |
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| 【登録No】 | 10000018 |
|---|---|
| 【名前】 | イソベアキラ |
| 【ご所属（法人名）】 | 株式会社ISTL |
| 【所属部署／役職】 | 代表取締役 |
| 【学位・資格】 | 博士(DR)／知的財産管理技能士、中小企業診断士 |
| 【経 験】 |
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| 【登録No】 | 00000047 |
|---|---|
| 【名前】 | コクボミツノリ |
| 【ご所属（法人名）】 | 芝浦機械株式会社 |
| 【所属部署／役職】 | 常務執行役員 R&Dセンター センター長 |
| 【学位・資格】 | 博士(DR) |
| 【経 験】 |
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| 【登録No】 | 00000046 |
|---|---|
| 【名前】 | セキグチアツシ |
| 【ご所属（法人名）】 | リソテックジャパン株式会社／大阪公立大学 |
| 【所属部署／役職】 | ナノサイエンス研究所 所長 博士（工学）／大学院工学研究科 客員教授 |
| 【学位・資格】 | 博士(DR) |
| 【経 験】 |
|
| 【関心キーワード】 |
|
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| 【登録No】 | 00000045 |
|---|---|
| 【名前】 | ヒライヨシヒコ |
| 【ご所属（法人名）】 | 大阪府立大学 |
| 【所属部署／役職】 | 名誉教授／大阪公立大学 特選研究員／応用物理学会 ナノインプリント技術研究会 顧問／3次元ヘテロインテグレーション研究会 (3DHI) 理事 |
| 【学位・資格】 | |
| 【経 験】 |
|
| 【関心キーワード】 |
|
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| 【登録No】 | 00000025 |
|---|---|
| 【名前】 | マツモトヒロフミ |
| 【ご所属（法人名）】 | フレックスリンク・テクノロジー（株）（FlexLink Technology Co., Ltd.） |
| 【所属部署／役職】 | 代表取締役社長 工学博士（元日本メクトロン（株） 取締役・フェロー） |
| 【学位・資格】 | 博士(DR) |
| 【経 験】 |
|
| 【関心キーワード】 |
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